洁净度5级 cleanliness class 5
环境空气中大于等于0．5μm的微粒数大于350粒／m3(0．35粒／L)到小于等于3500粒／m3(3．5粒／L)；大于等于5μm的微粒数为0粒／L的空气洁净程度。相当于原100级。
洁净度6级 cleanliness class 6
环境空气中大于等于0．5μm的微粒数大于3500粒／m3(3．5粒／L)到小于等于35200粒／m3(35．2粒／L)；大于等于5μm的微粒数小于等于293粒／m3(0．3粒／L)的空气洁净程度。相当于原1000级。
洁净度7级 cleanliness class 7
环境空气中大于等于0．5μm的微粒数大于35200粒／m3(35．2粒／L)到小于等于352000粒／m3(352粒／L)；大于等于5μm的微粒数大于293粒／m3(0．3粒／L)到小于等于2930粒／m3(3粒／L)的空气洁净程度。相当于原10000级。
洁净度8级 cleanliness class 8
环境空气中大于等于0．5μm的微粒数大于352000粒／m3(352粒／L)到小于等于3520000粒／m3(3520粒／L)；大于等于5μm的微粒数大于2930粒／m3(3粒／L)到小于等于29300粒／m3(29粒／L)的空气洁净程度。相当于原100000级。
洁净度8．5级 cleanliness class 8．5
环境空气中大于等于0．5μm的微粒数大于3520000粒／m3(3520粒／L)到小于等于11120000粒／m3(11120粒／L)；大于等于5μm的微粒数大于29300粒／m3(29粒／L)到小于等于92500粒／m3(93粒／L)的空气洁净程度。相当于原30万级。
